先進的非破壞性電性故障定位設備
LUXET Thermo 100 是一款全guo產化的鎖相紅外顯微成像系統。配備了全自動運動系統、高靈敏度制冷型中波紅外相機、廣角鏡頭與大倍率顯微鏡頭、高壓源表，可以適用于晶圓、電路板等多種不同種類器件的失效點定位。
鎖相紅外測量過程是通 過調制施加的電流或電 壓，利用視頻鎖相算法 來達到降低背景噪聲的 目的。利用這個技術， 器件的失效點可非常精 準地被定位。
自主研發的測量軟件,包含時
域重構、深度測量、圖像暫
存、電壓-電流測量等功能。
LUXET Thermo 100鎖相紅外顯微成像系統規格：