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					在高分辨率、受好評的FineSAT Ⅲ的基礎上，進一步提高了分辨率 
				
        
				
        
					
        
				
        
				
        
					為提高分辨率，提高了以往使用的超聲波頻率。 在高頻化方面，超聲波在傳播介質中的衰減越來越大，信噪 
				
        
				
        
					比降低的弊端變大，所以在檢查用途方面，300MHz前后是實用的*高頻率。 
				
        
			        		
			
				
        
			        		
		
        
	        

        

        
300MHz頻率的超聲波，在*佳條件下，僅 限于5μm左右寬度的線型識別，對于正在應用于*新LSI封裝的TSV、Cu柱等微細結構體的檢查時，可能無法適用。
        
FineSAT HR開發了新型電路、提高了分辨率，成功突破了這類超聲波檢查裝置的極限。
        
 

        
	產品構成： 

        

        
	
		
        
			
			
			
				FS100ⅢHR
			
			
				FS200ⅢHR
			
			
				FS300ⅢHR
			
		
        
		
        
			
				支持探頭頻率(MHz)
			
			
				5～75
			
			
				5～140
			
			
				5～300
			
		
        
	        

        

        
        
                        
                    
        
                    

                
        
            
        
        
        
    
        

        

        






        
    
        
        
        
        
            
        
        
    
        

        



        
        
        
        
        
    

        
     




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