特點(diǎn)：
采用提高了解析能力的64bit處理系統(tǒng) 標(biāo)準(zhǔn)配置可*多保存、處理4億點(diǎn)超聲波測(cè)定的數(shù)據(jù)，選購(gòu)配置*1時(shí)，可*多保存、處理20億點(diǎn)超聲波測(cè)定的數(shù)據(jù)。 這樣，以往使用FineSAT Ⅲ時(shí)，對(duì)8英寸的晶圓進(jìn)行1次測(cè)定并轉(zhuǎn)換成圖像時(shí)的*小測(cè)定間距為40 μm，而現(xiàn)在使用FineSAT Ⅴ，標(biāo)準(zhǔn)配置能以20 μm的微小間距取得數(shù)據(jù)并轉(zhuǎn)換為圖像，選購(gòu)配置時(shí)，能以10 μm以下的微小間距取得數(shù)據(jù)并轉(zhuǎn)換為圖像，所以1次掃描就可完成大樣品的詳細(xì)測(cè)定。 另外，還可進(jìn)行支持高精度解析、評(píng)價(jià)的多種圖像顯示。
掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s，縮短了檢查時(shí)間 測(cè)定晶圓等大樣品時(shí)，掃描儀的掃描速度對(duì)測(cè)定時(shí)間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀，還將超聲波脈沖的發(fā)生周期降低到1/2，這樣，測(cè)定時(shí)間縮短了25%*2。 除了加減速時(shí)，掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s*3，通過(guò)新設(shè)計(jì)的高剛性框架抑制裝置的振動(dòng)，所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像。 考慮了設(shè)置場(chǎng)所、作業(yè)性的裝備 考慮在潔凈室內(nèi)的使用的情況，掃描儀的門(mén)采用上彈方式，同時(shí)，作為門(mén)的選購(gòu)件，還準(zhǔn)備了防靜電型透明板，提高了防塵性。 為了設(shè)置樣品、維護(hù)設(shè)備時(shí)可順暢拆裝臺(tái)面、框架，前面的下部窗口可向下180°全開(kāi)。 本體操作部位采用防靜電板，抑制操作員靜電的影響。 本體電源ON就可進(jìn)行升降機(jī)的升降操作。不用啟動(dòng)FineSAT軟件就可動(dòng)作。 標(biāo)準(zhǔn)裝備便攜控制器。 以往，移動(dòng)掃描儀內(nèi)的探頭時(shí)，要用鼠標(biāo)或鍵盤(pán)操作顯示器畫(huà)面內(nèi)的按鈕，來(lái)回移動(dòng)視線，查看、操作探頭和監(jiān)視器或鍵盤(pán)。 如果使用便攜控制器，不用離開(kāi)視線，就可對(duì)探頭位置進(jìn)行微調(diào)整。 配備23英寸顯示器，大幅提高數(shù)據(jù)解析等的視認(rèn)性、作業(yè)性。 可選擇雙顯示器。 *1GUIPC為選購(gòu)件的情況。 *2與本公司以往機(jī)型相比，因條件而有所不同。 *3因測(cè)定條件不同，*大掃描速度可能受到限制。
測(cè)定晶圓等大樣品時(shí)，掃描儀的掃描速度對(duì)測(cè)定時(shí)間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀，還將超聲波脈沖的發(fā)生周期降低到1/2，這樣，測(cè)定時(shí)間縮短了25%*2。
除了加減速時(shí)，掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s*3，通過(guò)新設(shè)計(jì)的高剛性框架抑制裝置的振動(dòng)，所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像。
標(biāo)準(zhǔn)裝備便攜控制器。 以往，移動(dòng)掃描儀內(nèi)的探頭時(shí)，要用鼠標(biāo)或鍵盤(pán)操作顯示器畫(huà)面內(nèi)的按鈕，來(lái)回移動(dòng)視線，查看、操作探頭和監(jiān)視器或鍵盤(pán)。
如果使用便攜控制器，不用離開(kāi)視線，就可對(duì)探頭位置進(jìn)行微調(diào)整。
*1GUIPC為選購(gòu)件的情況。
*2與本公司以往機(jī)型相比，因條件而有所不同。
*3因測(cè)定條件不同，*大掃描速度可能受到限制。
能將超聲波的測(cè)定時(shí)間單位設(shè)定為以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。
不斷細(xì)微化、多層化的電子裝置的薄層內(nèi)的缺陷、層間剝離的檢測(cè)、深度位置信息的精度提高。
可與圖像銳化軟件（對(duì)超聲波信號(hào)劣化進(jìn)行補(bǔ)正，使圖像更加鮮明）、體積圖像軟件（在測(cè)定后將收集的波形數(shù)據(jù)解析為測(cè)定圖像和波形）、孔隙瀏覽器軟件（顯示孔隙(缺陷)后進(jìn)行合格與否判定、統(tǒng)計(jì)處理）等高度的解析軟件組合。