系統(tǒng)
技術(shù)參數(shù)
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樣品尺寸*
520 mm x 520 mm x 12 mm, 10 kg
電動(dòng)式X方向載物臺(tái)*
travels up to 625 mm, ± 3 μm分辨率
電動(dòng)式Y(jié)方向載物臺(tái)*
行程達(dá)525 mm, ± 3 μm分辨率
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電動(dòng)式Z方向載物臺(tái)*
Z軸移動(dòng)距離為25 mm, 0.08 μm分辨率, < 1 μm重復(fù)性
電動(dòng)式對(duì)焦臺(tái)*
Z軸行進(jìn)光學(xué)距離為9 mm
COGNEX圖案識(shí)別
圖案校對(duì)分辨率為1/4像素
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掃描器
性能
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XY掃描范圍
100 μm × 100 μm
XY分辨率
0.15 nm
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Z掃描范圍
15 μm
Z分辨率
0.016 nm
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AFM和XY移動(dòng)平臺(tái)
控制器
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ADC
18個(gè)頻道
4個(gè)高速通道 ADC channels
X、Y和Z位置傳感器(24位ADC)
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DAC
17 channels
2個(gè)高速DAC通道
X、Y和Z的定位(20位DAC)
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合規(guī)
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CE
SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)
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振動(dòng)，噪聲，靜電防護(hù)（ESD）性能
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地板振動(dòng)要求
< 0.5 μm/s (10 Hz to 200 Hz w/ Active Vibration Isolation System)
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噪音
>20 dB attenuation w/ Acoustic Enclosure
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基礎(chǔ)設(shè)施需求
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待機(jī)室溫
10 °C ~ 40 °C
工作室溫
18 °C ~ 24 °C
濕度
30%至60% (不凝結(jié))
地板振動(dòng)要求
VC-E (3 μm/sec)
噪音
低于65 dB
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氣動(dòng)式
真空度 : -80 kPa
CDA (or N2): 0.7 MPa
電源額定值
208V - 240 V,單相, 15 A (*大)
總耗電量
Consult Park Systems
接地電阻
低于100歐姆
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選項(xiàng)
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自動(dòng)換針器 (ATX)
ATX通過模式識(shí)別自動(dòng)定位針尖，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。
電離系統(tǒng)
電離系統(tǒng)可快速有效地去除靜電荷。由于該系統(tǒng)始終生成并保持正負(fù)離子的理想平衡，因此可以創(chuàng)建一個(gè)極其穩(wěn)定的電荷環(huán)境，幾乎不污染周圍區(qū)域，并且將在樣品處理過程中產(chǎn)生意外靜電的風(fēng)險(xiǎn)降至*低。
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尺寸 & 重量
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NX-TSH
2334 mm(w) × 1450 mm(d) x 2450 mm(h), 2720 kg approx. (包括控制箱)
升限高度: 2500 mm以上
操作員工作空間: *小3700 mm (w) x 3000 mm (d)
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