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集多功能于一體的原子力顯微鏡
Park XE15原子力顯微鏡具有眾多的獨特功能，是處理多種樣品的共享實驗室、進行多變量實驗的研究院以及晶片故障分析工程師的理想選擇。同時，合理的價格和穩健的功能使之成為業內認可的大型樣品原子力顯微鏡之一。
MultiSample?（多重采樣?）掃描器帶來便捷樣品測量
Park XE15能夠一次性掃描和測量多個樣品，讓您的效率提高。您只需要將樣品放入工作臺，再啟動掃描程序便可。該功能也可以讓您在相同的環境條件下掃描樣品，從而提高數據的**性和穩定性。
可掃描大件樣品
與大多數的原子力顯微鏡不同，Park XE15可掃描尺寸為200 mm x 200 mm的樣品。這樣既滿足了研究員對掃描大樣品的需求，也讓故障分析工程師能夠掃描硅片。
功能齊全，可滿足各種需求
Park XE15配有絕大多數的掃描模式，可掃描各種尺寸的樣品。得益于此，Park XE15是共用實驗室的*佳配置，能夠滿足每個人的需求。
Park XE15 MultiSample?掃描系統
· 全機動XY軸樣品臺，行程范圍達150 mm x 150 mm
借助電動樣品臺，MultiSample?掃描模式能夠允許用戶自行編程，借助自動化步進掃描，實現多區域成像。
6.重復掃描
XE scan system
XY flexure scanner
圖9. (a)表示 Park Systems XE系統的背景曲率為零，(b)是傳統的原子力顯微鏡系統的管式掃描器的典型背景曲率, (c)展示了這些背景曲率的橫截面。 圖9展示了XE系統(a)和傳統原子力顯微鏡(b)掃描硅片時，未處理的成像圖。由于硅片屬于原子級光滑材料，因此圖像中的彎曲大多數是掃描器所引起的。圖9(c)展示了圖9中(a)(b)圖像的橫截面。由于管式掃描器本身帶有背景曲率，因此當X軸的位置移動15 μm時，平面外移動*大可達80 nm。而在相同的掃描范圍內，XE掃描系統的平面外移動則不超過1 nm。XE掃描系統的另一大優勢是Z軸伺服回應。圖10是XE掃描系統在無接觸模式下拍下的一個多孔聚合物球體（二乙烯苯）的圖像，其直徑大約為5 μm。由于XE掃描系統的Z軸伺服回應極其精準，探針可以**地沿著聚合物球體上的大曲率以及小孔平面結構移動，而不會壓碎或粘連在其表面上。圖11是Z軸伺服回應在平坦背景上高性能的表現。
True Non-Contact?模式可延長針尖使用壽命，改善樣品保存及精度
在True Non-Contact?模式中，探針**與樣品的距離在相互原子力的控制下，被成功地控制在幾納米之間。探針**振動幅度下，大大減少了探針與樣品的接觸，從而完好地保護了探針和樣品。
True Non-Contact? Mode
Tapping Imaging
樣品損壞更少，探針壽命更長
原子力顯微鏡探針的**十分脆弱，這使得它在接觸樣品后會快速變鈍，從而限制原子力顯微鏡的分辨率和圖像的質量。對于材質較軟的樣品，探針會破壞樣品，導致其高度測量不準確。相應地，探針保持完整性意味著顯微鏡可以持續提供高分辨率的**數據。XE系列原子力顯微鏡的真正非接觸模式能夠極大程度保護探針，從而延長其壽命，并減少對于樣品的破壞。下圖中以1:1的長寬比展示了XE系列原子力顯微鏡掃描淺溝道隔離樣品的未處理圖像，該樣品的深度由掃描電子顯微鏡(SEM)確定。在成像20次之后，探針幾乎有沒任何磨損。
Park XE15規格
XY掃描器
閉環控制的單模塊撓性XY掃描器
XY臺工作范圍 : 150 mm x 150mm Z臺工作范圍 : 27.5 mm 聚焦臺工作范圍: 20 mm
樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
10倍物鏡（選配20倍）
視野：480μm x 360μm（10倍物鏡）
攝像頭：1M pixel，5M pixel（選配)
XEP 系統控制和數據采集的專用軟件
實時調整反饋參數
通過外部程序（選項）進行腳本級控制
高性能DSP：600 MHz，4800 MIPS
可達16個數據成像
數據尺寸：4096 x 4096像素
信號輸入：在500KHz取樣時，16位ADC的20個通道
信號輸出：500KHz取樣時，16位ADC的21個通道
同步信號：圖像結束，線結束及像素結束TTL信號
主動Q控制（選配）
懸臂梁彈性常數校準（選配）
電源：120W
信號處理模塊（選配）
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