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掃描電子顯微鏡工作原理及應(yīng)用

掃描電子顯微鏡工作原理及應(yīng)用

  掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)是一種利用電子束掃描樣品表面,通過檢測電子與樣品相互作用產(chǎn)生的信號來獲得高分辨率微觀形貌圖像的儀器。其分辨率可達(dá)納米級(通常1-20 nm),遠(yuǎn)高于光學(xué)顯微鏡。以下是掃描電子顯微鏡的核心要點:

  工作原理
  電子束生成

  電子槍(鎢絲、六硼化鑭或場發(fā)射)發(fā)射高能電子束(通常0.1-30 keV)。

  電磁透鏡聚焦電子束至極細(xì)的探針(直徑可小至1 nm)。

  掃描與相互作用

  電子束在樣品表面逐點掃描,與樣品原子相互作用,產(chǎn)生多種信號:

  二次電子(SE):反映表面形貌(主要成像信號)。

  背散射電子(BSE):反映成分差異(原子序數(shù) contrast)。

  X射線:用于能譜分析(EDS)確定元素組成。

  信號檢測與成像

  探測器收集二次電子或背散射電子,信號轉(zhuǎn)換為電信號后生成高分辨率圖像。

  應(yīng)用領(lǐng)域
  材料科學(xué)

  觀察金屬、陶瓷、高分子等材料的微觀結(jié)構(gòu)、斷口分析。

  生物學(xué)

  研究細(xì)胞、**、昆蟲等生物樣品(需臨界點干燥等特殊制樣)。

  納米技術(shù)

  表征納米顆粒、碳納米管、二維材料等。

  半導(dǎo)體工業(yè)

  檢測芯片電路、缺陷分析。

  地質(zhì)學(xué)

  分析礦物成分和微觀形貌。

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